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MgAl6O10

铝酸镁MgAl6O10单晶是一种用于外延生长GaN和ZnO的新型衬底材料。MgAl6O10单晶属于立方系,空间群为fd-3m(227),晶胞参数a=7.9780Å,密度为3.585g/cm3。与MgAl2O4晶体相比,MgAl6O10单晶与GaN具有更小的热膨胀失配和晶格失配。与GaN的热膨胀失配为2.2×10− 6K− 1.晶格失配− 11.5%. 此外,MgAl6O10单晶的熔点低于MgAl2O4晶体,更容易生长大尺寸和高质量的晶体。实验表明,在MgAl6O10单晶衬底上制备的GaN和ZnO器件的发光性能优于蓝宝石。
Uses/Applications
用于GaN和ZnO外延生长的衬底材料。
Features/Benefits
与MgAl2O4晶体相比,MgAl6O10单晶与GaN具有更小的热膨胀失配和晶格失配。
MgAl6O10单晶的熔点低于MgAl2O4晶体,更容易生长出大尺寸、高质量的晶体。
实验表明,在MgAl6O10单晶衬底上制备的GaN和ZnO器件的发光性能优于蓝宝石。
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结构
立方
晶格常数
a=7.9780Å
密度
3.98 (g/cm3)
晶向公差
±0.5°
常规尺寸
10×3mm,10×5mm,10×10mm,15×15mm,20×15mm,20×20mm
常规厚度
0.5mm,1.0mm
抛光
One side or two sides
表面粗糙度
Ra<5Å(5×5μm)
包装
Class 100 clean bag, Class 1000 super clean room
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尺寸
10×3mm,10×5mm,10×10mm,15×15mm,20×15mm,20×20mm
厚度
0.5mm,1.0mm